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光刻机作为整个集成电路制造关键的设备,其设备的性能直接影响到整个微电子产业的发展。目前更的沉浸式光刻机也只有asml、尼康和佳能三家能够生产,单台价格高达几千万美元。尼康的g-line、i-line步进式光刻机(stepper)、投影式光刻机在晶圆厂大量使用。


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