张家港晋宇达电子科技有限公司
投影式曝光(projection printing):在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光。一般掩膜板的尺寸会以需要转移
优点:提高了分辨率;掩膜板的制作更加容易;掩膜板上的缺陷影响减小。
投影式曝光分类:
扫描投影曝光(scanning project printing)。70年代末~80年代初,上海步进光刻机,〉1μm工艺;掩膜板1:1,步进光刻机,全尺寸;
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光刻机/紫外曝光机(mask aligner) 又名:掩模对准曝光机,张家港步进光刻机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 mask alignment system.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
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